半導体真空技術 (ポイント解説)本ダウンロード
半導体真空技術 (ポイント解説)
本, 宇津木勝
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半導体真空技術 (ポイント解説)本ダウンロード - 内容紹介 真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 宇津木/勝 茨城県生まれ。1981年日本テキサスインスツルメンツ(株)入社。美浦工場生産技術部を経てULSI技術開発部へ。USダラス本社プロセスオートメーションセンターにて装置プロセス開発に従事。美浦工場にて装置開発に従事後プロセス担当。DRAM・ロジックデバイスの開発に従事。専門はメタリゼーション・インテグレーションエンジニアリング。1996年アプライドマテリアルズジャパン(株)入社、成田テクノロジーセンター勤務。カスタマーサポートおよび社内外の技術教育に従事(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
de 宇津木勝
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